หลักการทำงานของเครื่องวัดความหนาของฟิล์มส่วนใหญ่ดังต่อไปนี้:
หลักการเหนี่ยวนำแม่เหล็ก: เหมาะสำหรับการวัดความหนาของการเคลือบที่ไม่ใช่แม่เหล็กบนพื้นผิวโลหะ ferromagnetic เครื่องมือนี้กำหนดความหนาของการเคลือบโดยการวัดการเปลี่ยนแปลงฟลักซ์แม่เหล็กระหว่างโพรบและพื้นผิว
หลักการกระแสหมุน: ใช้ในการวัดความหนาของการเคลือบที่ไม่นําบนพื้นผิวโลหะที่ไม่ใช่แม่เหล็ก สนามแม่เหล็กไฟฟ้าความถี่สูงที่สร้างขึ้นโดยโซนด์ สร้างกระแสหมุนเวียนในพื้นผิว การเปลี่ยนแปลงของความหนาของการเคลือบส่งผลต่อขนาดของกระแสหมุน ดังนั้นจึงวัดความหนาของการเคลือบ
หลักการอัลตราโซนิก: ความหนาการเคลือบจะวัดโดยใช้ความแตกต่างในความเร็วในการแพร่กระจายของคลื่นอัลตราโซนิกในสื่อที่แตกต่างกัน โซนด์ปล่อยคลื่นอัลตราโซนิกซึ่งได้รับหลังจากสะท้อนจากการเคลือบและพื้นผิว และความหนาของเคลือบจะถูกคํานวณโดยการวัดเวลาการแพร่กระจายของคลื่นอัลตราโซนิก